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產(chǎn)品介紹
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微流控芯片MEMS微納加工技術(shù)/光刻/電子束曝光
MEMS微納熱盤，即微型薄膜加熱器，是運用介質(zhì)薄膜支撐和熱隔離，通電發(fā)熱，達到預(yù)定溫度。因此可以依據(jù)客戶要求，可以設(shè)計成不同的溫度區(qū)間，從而達到客戶的實際產(chǎn)品需求。
寬溫區(qū)微納熱盤：
1. 300℃低溫區(qū)熱盤
2. 500℃中高溫區(qū)熱盤
3. 800℃以上高溫區(qū)熱盤
其特性優(yōu)勢為加熱功耗較低，熱量損耗小，響應(yīng)時間快，易同其它微電子器件集成。其廣泛運用于氣體傳感器，微熱量計，氣體流量計，紅外光源等產(chǎn)品。
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MEMS微納熱盤，即微型薄膜加熱器，是運用介質(zhì)薄膜支撐和熱隔離，通電發(fā)熱，達到預(yù)定溫度。因此可以依據(jù)客戶要求，可以設(shè)計成不同的溫度區(qū)間，從而達到客戶的實際產(chǎn)品需求。
寬溫區(qū)微納熱盤：
1. 300℃低溫區(qū)熱盤
2. 500℃中高溫區(qū)熱盤
3. 800℃以上高溫區(qū)熱盤
其特性優(yōu)勢為加熱功耗較低，熱量損耗小，響應(yīng)時間快，易同其它微電子器件集成。其廣泛運用于氣體傳感器，微熱量計，氣體流量計，紅外光源等產(chǎn)品。
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